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Micro-capteurs MEMS

Code UE : USEA3Q

  • Cours
  • 3 crédits

Responsable(s)

Catherine ALGANI

Objectifs pédagogiques

I. Bases de la fabrication des MEMS : Rappel des procédés (CM et TD) 
II. MEMS inertiel: accéléromètre MEMS (CM et TD), TP sous le logiciel Coventor sur l' accéléromètre MEMS, gyroscope MEMS, TP sous le logiciels ANSYS sur le gyroscope MEMS 
III. Autres applications des MEMS : capteurs MEMS pour l'environnement, la santé, la biologie, l'énergie, la contamination de l'air.
 
I. Basic of MEMS fabrication : Reminder of MEMS fabrication, Tutorial on MEMS fabrication
II. Inertial MEMS : MEMS accelerometer, Tutorial on MEMS accelerometer, Coventor lab on MEMS accelerometer, MEMS gyroscope, ANSYS tutorial on MEMS gyroscope 
III. Other MEMS applications : MEMS sensors for environment, MEMS sensors for healthcare, MEMS sensors for biology, MEMS sensors for energy, MEMS sensors for airborne particle contamination

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Enseignement non programmé s'il s'agit d'un diplôme, d'un certificat ou d'une UE ou enseignement qui ne fait jamais l'objet d'une programmation s'il s'agit d'une UA ou d'une US (le code formation commence alors par UA ou US).